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技術參數 |
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工作(zuo)溫(wen)度[℃] |
500 - 1320 |
500 - 1320 |
最(zui)高淬火(huo)壓力(絕對值) |
12 |
1.9 |
工作真空度范圍[mbar] |
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低(di)真空 |
10-1 |
10-1 |
高(gao)真空 |
10-4 |
10-5 |
有(you)效(xiao)工(gong)作(zuo)區(W x L x H) [mm] |
610 x 910 x 610 |
910 x 1220 x 910 |
最大裝(zhuang)爐量[kg] |
800 |
1350 |
加熱(re)元件(jian)材(cai)料 |
石(shi)墨 |
鉬 |
隔熱(re)層 |
特(te)殊石墨氈(zhan),可選擇(ze)覆蓋(gai)CFC |
鉬+不銹鋼 |
機(ji)械泵抽氣速率[m3/h] |
200 |
300 |
羅茨泵抽(chou)氣速率[m3/h] |
500 |
1000 |
機械(xie)泵抽氣速率(可選)[m3/h] |
300 |
300 |
羅茨泵抽氣速率 (可選)[m3/h] |
1000 |
1000 |
擴散泵(beng)抽氣(qi)速率(可選)[L/sec] |
10000 |
10000 |
維持泵抽氣速率(lv)(可選)[m3/h] |
4 |
32 |
控制系統 |
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總連接(jie)負荷[kVA] |
190 |
290 |
氣冷風機(ji)負荷(he)[kW] |
115 |
75 |
最小水壓[bar] |
3.5 |
2.75 |
最(zui)大(da)水流量(liang)[m3/h] |
40 |
50 |
溫(wen)度均勻性[℃] |
正負5度(du) |
正(zheng)負5度(du) |