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技術參數 |
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工作溫度[℃] |
500 - 1320 |
500 - 1320 |
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最(zui)高淬火壓力(絕對值) |
12 |
1.9 |
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工作(zuo)真(zhen)空度范(fan)圍[mbar] |
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低真(zhen)空 |
10-1 |
10-1 |
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高(gao)真空 |
10-4 |
10-5 |
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有效工作區(W x L x H) [mm] |
610 x 910 x 610 |
910 x 1220 x 910 |
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最大裝爐量[kg] |
800 |
1350 |
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加熱元(yuan)件(jian)材(cai)料 |
石墨(mo) |
鉬(mu) |
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隔熱層 |
特殊石墨氈，可選擇覆(fu)蓋CFC |
鉬+不(bu)銹鋼 |
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機(ji)械泵抽氣速率[m3/h] |
200 |
300 |
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羅(luo)茨泵(beng)抽氣速率[m3/h] |
500 |
1000 |
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機械泵(beng)抽氣速率（可選）[m3/h] |
300 |
300 |
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羅茨泵抽氣(qi)速率 （可(ke)選）[m3/h] |
1000 |
1000 |
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擴散泵抽氣速率（可選）[L/sec] |
10000 |
10000 |
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維持(chi)泵抽氣速(su)率（可(ke)選）[m3/h] |
4 |
32 |
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控制(zhi)系統 |
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總連接負荷[kVA] |
190 |
290 |
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氣冷風機(ji)負(fu)荷[kW] |
115 |
75 |
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最小水(shui)壓[bar] |
3.5 |
2.75 |
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最大(da)水流量[m3/h] |
40 |
50 |
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溫度均勻性[℃] |
正負(fu)5度 |
正負5度 |