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技術參數 |
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工作溫度(du)[℃] |
500 - 1320 |
500 - 1320 |
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最高(gao)淬火壓力(絕對值(zhi)) |
12 |
1.9 |
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工作(zuo)真空度(du)范(fan)圍(wei)[mbar] |
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低真(zhen)空 |
10-1 |
10-1 |
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高真空 |
10-4 |
10-5 |
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有(you)效工作區(W x L x H) [mm] |
610 x 910 x 610 |
910 x 1220 x 910 |
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最大裝爐量(liang)[kg] |
800 |
1350 |
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加(jia)熱元件材料 |
石(shi)墨 |
鉬 |
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隔(ge)熱層(ceng) |
特殊石(shi)墨氈，可選擇覆蓋CFC |
鉬+不銹(xiu)鋼 |
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機械泵抽氣速率[m3/h] |
200 |
300 |
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羅茨泵抽氣(qi)速率[m3/h] |
500 |
1000 |
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機(ji)械泵抽氣(qi)速率（可選）[m3/h] |
300 |
300 |
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羅茨泵抽氣速率 （可(ke)選）[m3/h] |
1000 |
1000 |
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擴散泵(beng)抽氣速率（可(ke)選）[L/sec] |
10000 |
10000 |
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維持(chi)泵抽氣速率（可選）[m3/h] |
4 |
32 |
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控制系統(tong) |
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總連接負(fu)荷(he)[kVA] |
190 |
290 |
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氣冷風機負荷[kW] |
115 |
75 |
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最(zui)小水壓[bar] |
3.5 |
2.75 |
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最大水(shui)流(liu)量[m3/h] |
40 |
50 |
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溫(wen)度均勻性(xing)[℃] |
正負5度 |
正負5度 |